| 
|
 |
 |
 |
 |
 |
 |
|
|
｜ Home ｜｜ 開発実績Top ｜ ＦＰＧＡ ｜ ネットワーク ｜ デジタル・映像 ｜ 医療 ｜ 公共 ｜ 半導体製造装置 ｜ ＩＰモニタリング ｜ ＦＩＡＭＯ ｜ |
|||||
 |
|||||
|
◆ 半導体製造装置 |
半導体製造工程におけるウェハープロセスは製造装置が重要な役割をはたします。 当社はこの製造プロセスで使われる製造装置のプロセス制御・ウエハー搬送制御・通信機能をつかさどる機器の設計開発・製造・ソフトウェア開発を２５年間行い、世界の半導体の発展に寄与してきました。 製品・技術は国内の半導体製造装置メーカーへ供給され、国内外の半導体メーカーへ納入されております。 ■ 関連機器 ・プラズマエッチング／アッシング装置 ・CVD装置 ・エピタキシャル装置 ・各種洗浄装置 |
|
