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 ◆ FIAMO


 薬液中の金属不純物を極めて高い感度で検出するモニター
  FIAMO Metal auto monitor

 特長
  ● 金属不純物をリアルタイムで検出
  ● RCA洗浄液中のFe,Cuの微量検出に最適
  ● オンライン連続自動測定
  ● 試薬カートリッジは回収してリサイクル

 導入効果と適用例
  ● QC工程管理に最適
    ⇒常時モニタリングにより管理基準を充足
  ● 洗浄液中のメタル異常をリアルタイム観測
    ⇒早期対処可能(次工程持込防止)

対象薬液
対象金属
検出下限
APMFe,Cu50ppt
Ni5ppb
HPM Fe,Cu 50ppt
Ni5ppb
FPMCu500ppt
TMAHFe,Cu50ppt
Ni5ppb
Si-SlurriesNi5ppb



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